OHT(Overhead Hoist Transport) 는 300mm 반도체 공장에서 물류 자동화 시스템의 근간을 이루는 시스템입니다.
또한 수많은 공정을 거치는 동안 공정 장비와 공정 장비 간 웨이퍼의 이동, 공정 장비와 저장 장치 간 웨이퍼 이동을 담당하는 시스템입니다.
OHT는 이름(Overhead)에서 나타난 것과 같이 공정 장비간, 그리고 공정 장비와 저장 장치 사이를 반도체 공장 천장에 설치되어 있는 레일(Rail)을 따라 웨이퍼 이송에 사용되는 용기 즉 FOUP(Front Opening Unified POD)을 이송하여 주는 장치입니다.
OHT 시스템은 크게 레일(Rail) 또는 트랙 (Track)으로 불리는 주행로(主行路)와 차량(Vehicle)으로 구성되어 있습니다.
차량은 정해진 주행로를 따라 웨이퍼 저장 용기를 이송하고 공정 장비 또는 저장 장치와 웨이퍼 저장 용기를 전달하여 주는 역할을 담당합니다.
반도체 제조 공장의 천장에 설치되어 있는 레일은 기본적으로 직선 구간, 분기 및 합류 구간과 함께 턴(Turn)구간으로 구성되어 있어 운반체가 공정 장비와 공정 장비 그리고
공정 장비와 저장 장치 사이를 이동할 수 있는 통로를 제공합니다.
OHT는 자율주행 자동차와 유사한 기능으로 구성되어 있습니다.
